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K = 1의 때 최대의 Ho가 되며,n1, Kmax = Kn (3.1) 이다6). 등록 고진공펌프와 배기계. 저진공펌프와 고진공펌프는 대략 0. 여러 진공장치의 동작압력범위는 대기압(105Pa) 부터 극고진공(10-11 Pa)까지 16자릿수에 이르고 있. ,, H는 입사 유량에 대한 실제 유량의 비이며 Ho계수라 부른다. 머리말 2. 날개 양측의 가스통과확률 M12 , n1H = n1M12 - n2M21 (3. 터보 분자펌프 4.5).zip 고진공펌프와 배기계.1)식은 H = M12 - (P2/ P1) M21 (3. 확산펌프 5.4) 여기서, K는 압축비이며,n2 는 흡기측와 배기측의 날개렬에 입사하는 단위시간당의 분자수다.doc (파일첨부). 비 n1/n2는 압력비 P1/ P2와 같으므로 (3.2) K = (P2/ P1) = (M12/ M21) - (H/ M21) (3..1 Pa 이하의 압력에서 동작하는 각종 고진공펌프의 동작원리와 구조를 중심으로 하여 그의 성능과 특징 그리고 진공장치의 사용예에 대해서 개설한다 [기계공학]고진공펌프와배기계 1. 크라이오펌프와 크라이오 소프숀펌프 터빈 날개 한단의 흡기측①으로 배기측②에 ......
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고진공펌프와 배기계. 등록
고진공펌프와 배기계.doc (파일첨부).zip
고진공펌프와 배기계.
여러 진공장치의 동작압력범위는 대기압(105Pa) 부터 극고진공(10-11 Pa)까지 16자릿수에 이르고 있다. 저진공펌프와 고진공펌프는 대략 0.1 Pa를 경계로 압력영역을 분담하고 있어 진공장치의 동작압력에 따라 단독 혹은 복수의 펌프로 배기계를 구성한다. 여기서 0.1 Pa 이하의 압력에서 동작하는 각종 고진공펌프의 동작원리와 구조를 중심으로 하여 그의 성능과 특징 그리고 진공장치의 사용예에 대해서 개설한다 [기계공학]고진공펌프와배기계
1. 머리말
2. 고진공펌프의 종류와 성능펑가
3. 터보 분자펌프
4. 확산펌프
5. 크라이오펌프와 크라이오 소프숀펌프
터빈 날개 한단의 흡기측①으로 배기측②에 흐르는 배기량은,
n1H = n1M12 – n2M21 (3.1)
이다6). 여기서, H는 입사 유량에 대한 실제 유량의 비이며 Ho계수라 부른다. n1,n2 는 흡기측와 배기측의 날개렬에
입사하는 단위시간당의 분자수다. 비 n1/n2는 압력비 P1/ P2와 같으므로 (3.1)식은
H = M12 – (P2/ P1) M21 (3..2)
K = (P2/ P1) = (M12/ M21) – (H/ M21) (3.3)
위 단단 날개의 수치를 사용하여 실제의 다단 분자펌프를 평가한다. n단의 날개 전체의 최대압축비 Kmaxx는,
Kmax = Kn (3.4)
여기서, K는 압축비이며, K = 1의 때 최대의 Ho가 되며, H = 0인 때 최대의 압축비가 된다.
날개 양측의 가스통과확률 M12 , M21을 날개의 각도(Φ)와 간격(s/b) 그리고 회전속도 또는 그의 분자속도와의 비 등을
변화하면서 몬테카를로 방법으로 구하여 H 및 K를 얻는다(그림3.4와 그림3.5).
날개속도가 작은 동안은 날개속도가 커 갈수록 최대Ho계수도 단순히 커지며 통상 터보 분자펌프도 이 영역에서 사용
한다. 전단(흡기측)에서는 배기속도를 올리기 위하여 날개각 Φ와 간격 s/b를 크게 하며, 후단(배기측)에서는 압축비
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